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手術室凈化工程1

集成電路

集成電路廠房潔凈室

集成電路一般潔凈度在100級到1000級,溫濕度控制嚴格,需要很高的潔凈工藝; 由于集成電路工藝生產技術的特殊性,它對生產環境,如潔凈度、溫度、濕度都有嚴格的要求,這直接關系到晶圓產品的質量和壽命,必須嚴格控制在要求范圍之 內。在工程設計中,暖通空調專業擔負著保證生產區潔凈度等級和溫度、濕度要求的使命。

潔凈室系統采用新風集中處理機組(MAU)+風機過濾單元(FFU)+干式冷盤管(DDC)的方式,其空氣處理過程為:循環風經設置在一層的干式冷卻盤管冷卻后,進入上部送風靜壓箱,與處理后的新風混合,經FFU加壓、過濾后送入生產區。

過濾系統如何選擇 
  百級潔凈室不同于千級以下潔凈室,百級為層流潔凈室,一般采用MAU+DDC+FFU形式;即新風機組+干盤管+風機過濾單元形式;
維護結構如何選擇
1.百級潔凈室墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,陰角全部選用圓弧連接;百級一般采用二次隔墻及二次吊頂形式做回風技術夾道;
2.地面:百級一般采用架空地板敷設作為回風夾道;方便氣流從頂部垂直吹下;’
凈化參數
換氣次數:1000級≥60次;100級:過濾器滿布率不低于80%。
壓差:主車間對相鄰房間≥10Pa平均風速:00級0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。 
濕度45-65%;噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度:不低于350LX;


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