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半導體

電子元器件一般潔凈度在1000級到10000級,溫濕度控制嚴格,需要很高的潔凈工藝; 由于電子元器件工藝生產技術的特殊性,它對生產環境,如潔凈度、溫度、濕度都有嚴格的要求,這直接關系到晶圓產品的質量和壽命,必須嚴格控制在要求范圍之 內。在工程設計中,暖通空調專業擔負著保證生產區潔凈度等級和溫度、濕度要求的使命。


潔凈室系統采用集中送風形式。 頂送側下回風形式;

過濾系統如何選擇 
  潔凈室系統采用集中送風形式。 頂送側下回風形式;
維護結構如何選擇
1.千級、萬級潔凈室墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,陰角全部選用圓弧連接;采用回風立柱為回風技術夾道;
2.地面:一般為pvc防靜電地板或2mm環氧樹脂自流平地面;
凈化參數
換氣次數:1000級≥60次,1000級≥25次;;。
壓差:主車間對相鄰房間≥10Pa平均風速:00級0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。 
濕度45-65%;噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度:不低于350LX;

一般操作流程

圖紙-111.pdf

客戶案例

客戶名稱:格林彩特

凈化面積:2400平方米

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